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超聲振動磨削原(yuán)理、優勢、分類和發展趨勢(shì)
超聲振動磨削的(de)材料去除機製和表麵(miàn)形成機製
典型航空工業難(nán)加工材料超聲振動輔助加工現狀
超聲(shēng)加工降低切削力、改善粗糙度、降低刀具磨損
碳化矽晶圓功率密度高、耐壓高(gāo)、導熱係數高,是功率半導體首選材料,在新能源領域應用越來越廣(guǎng)泛。碳化矽硬度高,采用常規的晶圓劃片方案(àn),切割速度慢,刀片(piàn)消耗(hào)大(dà)。超聲(shēng)振動輔助劃片,極大地提高了生產效率。
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